項(xiàng)目:
擴(kuò)散泵在半導(dǎo)體制造中起著重要作用。如果泵在過程中出現(xiàn)故障，則價(jià)值數(shù)百萬(wàn)美元的半導(dǎo)體產(chǎn)品將處于危險(xiǎn)之中。狀態(tài)監(jiān)視平臺(tái)可用于幫助連續(xù)監(jiān)視難以到達(dá)的泵的狀態(tài)，以預(yù)測(cè)問題，進(jìn)行關(guān)鍵的預(yù)測(cè)性維護(hù)并減少浪費(fèi)。
 
真空泵監(jiān)測(cè)目的
*預(yù)防真空泵在正常工作時(shí)數(shù)內(nèi)（定期保養(yǎng)前），提前老化；
*預(yù)防泵浦卡粉，造成機(jī)械損壞甚至卡死造成無(wú)預(yù)警停機(jī)；
*培林端油品問題（漏油、劣化），導(dǎo)致泵浦提前損壞；
*運(yùn)轉(zhuǎn)中良品延長(zhǎng)工作時(shí)數(shù)，拉長(zhǎng)定期保養(yǎng)時(shí)間，有數(shù)據(jù)化的降低運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)成本；
*保養(yǎng)后回廠設(shè)備是否有達(dá)到保養(yǎng)需求規(guī)格，確保委外保養(yǎng)效益。
 
制程損失：
LPCVD爐管，每次可送入至少50-150片晶圓，設(shè)備核心為真空泵浦，抽氣維持真空狀，當(dāng)泵浦因卡粉或軸承損壞，會(huì)使制程中斷，造成整批晶圓產(chǎn)品報(bào)廢。
LVPVD制程晶圓成本：
12時(shí)晶圓：3000 USD/片，一次防御省下：4,500,000~13,500,000 NTD
8時(shí)晶圓：500 USD/片，一次防御省下：750,000~2,250,000 NTD
 
上機(jī)測(cè)試時(shí)間成本與維修成本
真空泵浦送修，整體維修價(jià)約50,000~70,000新臺(tái)幣
真空泵，整體維修報(bào)價(jià)券100,000~120,000新臺(tái)幣
維修無(wú)法確定損壞部件有無(wú)更換。
真空泵送修回來(lái)無(wú)法確定設(shè)備是穩(wěn)定，在旁測(cè)試7天后，穩(wěn)定才上機(jī)。
現(xiàn)有客戶維修后仍未修復(fù)完全，防止驗(yàn)收瑕疵比例：1/30
 
客戶利益:
識(shí)別早期故障跡象，防止意外故障
獲取可靠信息，提高產(chǎn)量，降低維修成本
在維修后返回時(shí)提供機(jī)器狀態(tài)驗(yàn)證