項(xiàng)目:
擴(kuò)散泵在半導(dǎo)體制造中起著重要作用。如果泵在過程中出現(xiàn)故障,則價(jià)值數(shù)百萬(wàn)美元的半導(dǎo)體產(chǎn)品將處于危險(xiǎn)之中。狀態(tài)監(jiān)視平臺(tái)可用于幫助連續(xù)監(jiān)視難以到達(dá)的泵的狀態(tài),以預(yù)測(cè)問題,進(jìn)行關(guān)鍵的預(yù)測(cè)性維護(hù)并減少浪費(fèi)。
真空泵監(jiān)測(cè)目的
*預(yù)防真空泵在正常工作時(shí)數(shù)內(nèi)(定期保養(yǎng)前),提前老化;
*預(yù)防泵浦卡粉,造成機(jī)械損壞甚至卡死造成無(wú)預(yù)警停機(jī);
*培林端油品問題(漏油、劣化),導(dǎo)致泵浦提前損壞;
*運(yùn)轉(zhuǎn)中良品延長(zhǎng)工作時(shí)數(shù),拉長(zhǎng)定期保養(yǎng)時(shí)間,有數(shù)據(jù)化的降低運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)成本;
*保養(yǎng)后回廠設(shè)備是否有達(dá)到保養(yǎng)需求規(guī)格,確保委外保養(yǎng)效益。
制程損失:
LPCVD爐管,每次可送入至少50-150片晶圓,設(shè)備核心為真空泵浦,抽氣維持真空狀,當(dāng)泵浦因卡粉或軸承損壞,會(huì)使制程中斷,造成整批晶圓產(chǎn)品報(bào)廢。
LVPVD制程晶圓成本:
12時(shí)晶圓:3000 USD/片,一次防御省下:4,500,000~13,500,000 NTD
8時(shí)晶圓:500 USD/片,一次防御省下:750,000~2,250,000 NTD
上機(jī)測(cè)試時(shí)間成本與維修成本
真空泵浦送修,整體維修價(jià)約50,000~70,000新臺(tái)幣
真空泵,整體維修報(bào)價(jià)券100,000~120,000新臺(tái)幣
維修無(wú)法確定損壞部件有無(wú)更換。
真空泵送修回來(lái)無(wú)法確定設(shè)備是穩(wěn)定,在旁測(cè)試7天后,穩(wěn)定才上機(jī)。
現(xiàn)有客戶維修后仍未修復(fù)完全,防止驗(yàn)收瑕疵比例:1/30
客戶利益:
識(shí)別早期故障跡象,防止意外故障
獲取可靠信息,提高產(chǎn)量,降低維修成本
在維修后返回時(shí)提供機(jī)器狀態(tài)驗(yàn)證