用于晶圓廠(chǎng)設(shè)備監(jiān)控的預(yù)測(cè)性維護(hù)方案
半導(dǎo)體設(shè)備工程師必須密切監(jiān)控氣體瓶柜和冰水主機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)，以確保設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)的效能。透過(guò)及時(shí)調(diào)整這些關(guān)鍵設(shè)備，工程師可以預(yù)防生產(chǎn)線(xiàn)的中斷，從而避免可能導(dǎo)致的重大損失。這種主動(dòng)的監(jiān)控和維護(hù)策略對(duì)于保持半導(dǎo)體制造流程的順暢和效率至關(guān)重要
 
用戶(hù)需求
同時(shí)要量測(cè)電流訊號(hào)和接收來(lái)自氣瓶柜加密過(guò)的信息，并傳遞到場(chǎng)域內(nèi)部的數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)
 
解決方案
1. 監(jiān)控流量計(jì)/水位傳感器的電流訊號(hào)：
• 需要量測(cè)范圍在4至20mA的電流訊號(hào)
2. 接收加密的OPC UA信息：
• 從氣瓶柜接收經(jīng)過(guò)加密的OPC UA信息
3. 資訊整合與傳遞：
• 將收集到的信息進(jìn)行客制化整合后，透過(guò)Modbus TCP通訊協(xié)議發(fā)送至場(chǎng)域內(nèi)部的數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)
• 有效率的大量部署